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收藏  |   举报 2011-05-18 20:43   关注:8635   回答:0

烧结后铝背场起包

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近段时间来发现烧结完毕后背场部分起了铝包,主要集中在中间(奇怪的就是铝包经常性的连成一条线),另外在硅片边缘部分也有出现过铝包。
尝试过调节烧结炉的温度,发现无论是升温还是降温,升带速还是降带速都还是或多或少的有铝包(当然完全没有铝包的也有就是功率惨了点,主要是FF没烧到位);其次试过增加了铝背场的湿重,一样的有铝包。目前来说我正在考虑绒面处是否金字塔过大。。不过在这里希翼大家能够相互讨论下,绒面如果没问题的话。。该继续排查哪个部分。。
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