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  • 匿名
收藏  |   举报 2011-05-18 20:51   关注:8317   回答:0

PSG去除的基本参数问题?

已关闭 悬赏分:0
偶是新人,被分配到了,去PSG工艺.但是由于没啥经验,以下几个问题请功高手们告知一下.
PSG去除的HF浓度大家都用多少啊?
大家用的HF浓度刻蚀速率一般都是多少呢?
需要多长时间?
刻蚀的温度应该保持多少呢?
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